加拿大Luminos公司 U3超高分辨率XYZ 三维调节架 (XY/10nm Z/50nm) 全自动版
产品型号:L-U3-H-I / L-U3-H-SI所属品牌:加拿大Luminos谱兆编码:9000XX00
加拿大Luminos公司U系列超高分辨率调节架采用Luminos自己设计的超高精度直线步进电机达到行业领先的双向0.1um回差,同时实现X,Y轴分辨率达到10nm的运动能力。U系列调节架在XYZ轴的行程为2.5mm x 2.5mm x 12.7mm,该系列跟Luminos原有的自动调节架I3000及l6000相比,性能上有大幅改善,同时,可以在小行程范围内达到光子级别的准直调节。U系列调节架在自动功能上有个飞跃,即工作精度(不丢步的前提下实现真实最小移动)可以提高五倍,同时,总速度提高12x,电机行程提高25x。U系列调节架所提供的性能已经远远超出SMF-28单模光纤的对准需求。仅仅使用步进电机控制,无需使用闭环补偿或者精密平台及附加控制器。无需回差补偿的前提下,客户可以轻易实现损耗小于0.01dB单模波导对准。

概述

加拿大Luminos公司U系列超高分辨率调节架采用Luminos自己设计的超高精度直线步进电机达到行业领先的双向0.1um回差,同时实现X,Y轴分辨率达到10nm的运动能力。
U系列调节架在XYZ轴的行程为2.5mm x 2.5mm x 12.7mm,该系列跟Luminos原有的自动调节架I3000I6000相比,性能上有大幅改善,同时,可以在小行程范围内达到光子级别的准直调节。
U系列调节架在自动功能上有个飞跃,即工作精度(不丢步的前提下实现真实最小移动)可以提高五倍,同时,总速度提高12x,电机行程提高25x。
U系列调节架所提供的性能已经远远超出SMF-28单模光纤的对准需求。仅仅使用步进电机控制,无需使用闭环补偿或者精密平台及附加控制器。无需回差补偿的前提下,客户可以轻易实现损耗小于0.01dB单模波导对准。

光纤光子准直调节–无需压电晶体
在光子工业领域,针对调节台的普遍接受的要求是调节光束直径或者波导模场直径的1%。针对模场直径为10µm的SMF-28光纤准直要求,100nm的精度通常或者曾经是可以接受的。随着先进的平面光子设备的出现,对越来越小的波导结构的准直要求激增,有时要达到2µm的模场直径。
精度为20nm的光学调节台已经逐渐成为新的标准。为了满足光学精度的要求,大多数光学调节架的生产商所能提供的自动准直系统采用的是粗调+精调方式,外加多个不同水平的控制器。很多电机驱动的粗调平台有5-10µm的回差。采用细微行程的压电晶体平台就变得不是一个好的选择了,其结果是增加了系统的复杂性。


超低的回差
采用了无摩擦设计及固有的内置挠曲调节平台设计,跟定制的扭矩余量足够的开环步进电机共同使用,Luminos调节架在业内是独一无二的,它可以提供持续的微步进表现。
无摩擦驱动机构确保驱动器在一致的预荷载下运行。
芯片对准应用时,X轴及Y轴的精度通常要求比Z轴高五倍。针对不同的需求,Luminos调节架战略性地在X轴及Y轴调节机构的设计时提前采用了 Ratio Drive 专利设计理念。XYZ驱动器全部移动12.5mm,但是,在Luminos全自动U系列调节架上,X轴及Y轴上在电机的控制下移动完整的2.5mm行程。这就在更重要的X轴及Y轴上提供5X的精度,10nm的精度前提下,输出达到0.1um奇低的双向回差。更重要的是-不需要压电晶体!


光学波导准直调节


侧向准直敏感性
为了便于理解光学波导对准所需的精度水平,我们以业界常用的10µm模场直径的SMF-28单模光纤作为一个例子。

Figure #1-b
光学损耗与横向X或Y对准的关系
图#1

图#1 显示波导内两根光纤沿X方向移动,以便测试侧向对准跟光学损耗之间的对应关系。当然,其中一根光纤要连到光源上,而另外—根连光功率计。对SMF-28光纤,因其是圆形对称结构,光学损耗对在X及Y方向的侧向移动同样敏感。
由于整个行业正在朝着先进的平面光学波导发展,您会经常见到模场直径为2-3µm的平面波导。


Figure #2-b
X轴或Y轴(um)
侧向准直对应的光学损耗
图#2

图#2 阐明SMF-28光纤+/- 1um理想的对准时光学损耗跟侧向对准之间的曲线。大多数光功率计有0.01dB的精度,与之对应的X轴向的目标偏移范围在0.46um.如果有一个调节架具备双向低于0.46um的回差,这样就可能直接编写优化软件,而无需严重依赖回差补偿。而且设计一套调节架也成为可能,而无需在粗调及精调运动控制之间切换。多数市面上存在的能够满足 图#2 目标的驱动器都是复杂的带编码器的闭环系统,抑或是带内置附加压电晶体的精调架的步进电机驱动器。
Luminos调节架提供了诸多战略性的优势。U系列超高精度调节架为市场提供了独一无二的结构。Luminos调节架是市场上唯一一款能够在X,Y方向提供双向0.1um回差,同时又采用简单的增量步进电机的调节架。光学波导对准无需采用压电晶体或者编码器。这是一套简单的能够满足并超过光学波导对准要求的系统。事实上,如图二所示,该系统单就SMF-28对准而言,测试精度余量远远超出需求。


轴向准直敏感性
图#3 阐明了两根光纤的端部移动时光损耗跟轴向准直之间的对应关系。假设此时X轴Y轴已经完全对准,只有z轴间隙变化。图#2 及 图#4 内损耗测量时光纤端部间填充了匹配油膏以便降低菲涅耳干涉效应

Figure #3-b
轴向准直对应的光学损耗
图#3

图#4 阐明了光损耗跟轴向间隙的对应关系,您可以发现相对于侧向移动,轴向间隙对损耗的影响没有 图#2 所示的侧向移动那么敏感。0.01dB补偿目标尺寸差异为3.76µm对0.46µm.这一不同的准直敏感性在低数值孔径的光纤波导内可能尤为明显,借助于Luminos Ratio Drive 技术,配合Luminos所有调节架内X,Y轴内的无摩擦挠曲驱动机构就可以克服。
Luminos Ratio Drive 的另外一个战略性的优势是其增强的稳定性。当电机驱动器微微发热后,所有热引发的位置变化同时以同样比例降低。Luminos调节架独特设计带来的结果是较其他直接驱动的调节架更加稳定,同时,客户反馈即使长期使用,有时空载多日后,Luminos调节架还能保持很稳定的对准。

Figure #4-b
Z轴(µm)
轴向间隙跟光损耗的对应关系SMF28@1550nm (9/125um光纤)匹配油膏
图#4


订货须知:

谱兆编码

产品型号

轴数

安装板(公制/英制)

手动/半自动/全自动

Z轴驱动轮

分辨率

90012700

L-U3-H-I

X,Y,Z

英制

全自动

N/A

 (XY/10nm Z/50nm)

90007400

L-U3-H-SI

X,Y,Z

公制

全自动

N/A

 (XY/10nm Z/50nm)


U3-U6规格参数(中文)


名称

功能

图片


适配器


适配板, 适配块,适配柱用于把不同尺寸的器件及Luminos调节架整合为一套完整的系统

未标题-1


基板


基板为Lumnios调节架及其配件组装提供了一种方便的方法

未标题-2


光纤接触传感器


Luminos的接触传感器通过测量接触应力的水平,直观的给出光纤准直调节时光纤的接触情况,能够更快的给出零间隙的位置

未标题-3


光纤夹持夹具

水平光纤夹持夹具和垂直光纤夹持夹具专为安装在Luminos的I3000, I3005, I5000, I5005, I6000, I6005 and RYP3000调节架上

水平光纤夹持夹具的V型槽光纤夹具的加长设计可以让光纤到达重合旋转中心点

垂直光纤夹持夹具的垂直光纤夹持夹具所夹持的光纤的尖端置于旋转中心的点



未标题-4


光纤阵列夹持夹具



通用光纤阵列夹持夹具可以夹持2-48芯的阵列, 窄头光纤阵列夹持夹具则适于PIC芯片四个方向同时调节的场景, 单只可以夹持1-16芯的阵列

未标题-5


LINOS轨道



LINOS轨道让Luminos调节架可以快速大行程调节,在接近调节点时再采用调节架进行精密调节

未标题-6


真空夹持夹具


真空夹持夹具可以快速可靠的真空夹持脆弱的平面芯片, 诸如小型芯片,复杂的波导,光学晶体等等

未标题-7


调节架侧向阻尼板


为了最快速的准直调节,客户会使用步进电机进行高速调节, 此时增加Luminos的无摩擦侧向阻尼板增加强度。

1-1


相关产品